技术编号：4763476
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种双边对称结构的基于半导体致冷器的纳米级位移驱动部件。背景技术国内外对大进给力的微/纳米级驱动部件研究主要分为两类一类是对新颖驱动部件的研究，如稀土超磁致伸缩驱动器、超导式驱动器等，其中稀土超磁致伸缩驱动器因驱动力大导致发热量也大，由驱动线圈发热引起的超磁致伸缩材料热变形量与超磁致伸缩驱动器可控位移输出处于同一数量级，因此必须对驱动器进行严格的热变形补偿；另一类是对传统的滚珠丝杠等驱动部件的研究，主要是考虑如何减少摩擦力、减少永久或瞬间变形...
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