技术编号：4770983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及低温泵配套辅助装置，具体的说是一种以涡旋式压縮机为核心的氦气压縮净化机组。背景技术目前，电子制造领域内低温泵的使用日益普及，而与其配套使用的小型氦气压縮净化机组还主要是以活塞式或转子式的压縮机为核心，其主要通过其内部的喷油装置喷油带走氦气中的热量；上述两种压縮机虽然也是作为氦气压縮净化机组的核心完成氦气压縮的过程，但是活塞式或转子式的压縮机都存在运动死点，而油是不可压縮的，如果油注入多了，会发生撞缸，所以供油有严格限量，造成喷油冷却系统复杂，体积...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。