技术编号：4793168
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用精馏塔从作为原料气的空气中同时生成超高纯氮和超高纯氧的超高纯氮、氧生成装置，特别涉及一种能够生成作为杂质的氧的浓度为10ppb或更少的超高纯氮以及其纯度为99.999995％或更高的超高纯氧的生成装置，此种装置可用于半导体制造过程。图5示出了公开(KOKAI)号为296,651/1993的日本专利申请中描述的一种传统的超高纯氮、氧生成装置的流程图。在此图中，标号54表示第一级精馏塔，55表示第二级精馏塔，56表示第三级精馏塔，57表示第四...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。