技术编号：4796696
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明，关于一种为产生超低温冷量的超低温冷冻装置、冷冻系统及真空直ο背景技术迄今为止，作为为产生-100°C以下的超低温冷量的冷冻系统，如专利文献 1、2、3所示，混合沸点温度不同的复数种冷媒形成的非共沸点混合冷媒封入冷媒回路的混 合冷媒方式超低温冷冻装置已为所知。该种超低温冷冻装置，如设置于衬底(晶片)等制 造用真空成膜装置真空罐内的水分由冷冻去除从而提高真空水准。该冷冻系统的冷媒回路，其基本构成为包括如压缩机、冷凝器、复数级气 液分离器、复数级的气液分...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。