技术编号：4801524
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。用于控制测试中的装置的温度的温度控制系统，其包括流体源和降低由流体源供应的流体的温度的冷却装置，以及输出具有降低的温度的流体至测试中的装置。过滤器设置于测试中的装置和冷却装置之间以滤出导致显著的电荷生成的冰颗粒，从而防止测试中的装置经受作为静电荷生成的结果的高电压。专利说明具有杂质过滤器的温度系统[0001] 相关申请[0002] 本发明要求于2011年10月17日递交到美国专利与商标局的美国专利申请序号 为13/274,967的优先权，其全部内容结合于此...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。