技术编号:4801535
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种使用了斯特林冷冻机的冷却捕集器。冷冻机(14)具备驱动自由活塞(35),以便使工作气体在散热部(25)和吸热部(24)之间往复的驱动活塞(31)、测定框体(22)的振动的振动传感器(41)、降低驱动活塞(31)被驱动时的框体(22)的振动的动态吸振器(45)、为在框体(22)与真空装置连接的状态下,降低驱动活塞(31)被驱动时的框体(22)的振动而调整驱动频率的频率调整装置。专利说明冷冻机、冷却捕集器[0001]本发明涉及冷冻机、使用了该冷冻...
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