技术编号:4807379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将185纳米紫外有机物分解器和膜脱气装置相结合制造有机物含量低的超纯水的工艺方法。超纯水主要用于大规模集成电路的生产和很多其他电子通讯器材制造业。超纯水中总有机物含量,通常以总有机碳(TOC)含量来衡量,保证超纯水中TOC指标对于超纯水制造工艺通常是有挑战性的。因为185纳米紫外光可以打断有机物中大多数化学键,所以可以用185纳米紫外光分解纯水中残留有机物。纯水中残留有机物在185纳米紫外光作用下分解后可能以三种形式存在,即带电小分子有机物、...
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