技术编号：4809890
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是涉及ー种自含有四烷基铵离子(以下，称为TAA离子)废液中回收氢氧化四烷基铵(以下，称为TAAH)的时候所被排出的去TAA离子废液予以再利用的方法。背景技术半导体及液晶制造工程中的显影工程按以下的步骤进行。首先，在晶圆、玻璃等的基板上形成图案时，在基板表面形成的金属层上涂布由酚醛清漆树脂或聚苯こ烯树脂等组成的负片型或正片型的阻剂。接着，在涂布有上述阻剂的基板上，透过用于形成上述图案的光罩进行曝光。接下来，对上述阻剂的未硬化部分或者是硬化部分，使用以T...
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