技术编号:4817371
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明关于一种自含有氢氧化四烷基铵的废液回收及纯化氢氧化四烷基铵的方 法。尤其,本发明关于一种将显影废液中的氢氧化四烷基铵转换成为四烷基铵的酸盐后,藉 纳米过滤膜进行过滤纯化,随后将所得四烷基铵的酸盐电解成氢氧化四烷基铵的自显影废 液回收及纯化氢氧化四烷基铵的方法。背景技术氢氧化四烷基铵为电子零件产业,诸如半导体元件产业、液晶显示面板产业及印 刷电路板产业等常用的光阻显影剂,特别是氢氧化四甲基铵。氢氧化四烷基铵为有机性强 碱,亦可作为酸碱中和剂、界面活性剂...
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