技术编号:4819608
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用多晶硅生产过程中产生的副产物一四氯 化硅生产二氧化硅的方法,属硅的化合物。( 二)背景技术多晶硅是集成电路和光伏发电的关键原料,随着国内外多晶硅 市场需求的高速增长,我国多晶硅生产规模迅速扩大。多晶硅生产过程中产生大量的副产 物——四氯化硅。四氯化硅是一种具有强腐蚀性的有毒有害液体,会给环境带来巨大的污 染,并严重威胁着人类的生命安全。无害化处理四氯化硅是我国多晶硅行业节能减排、安全 生产、保护环境的重要环节,是该行业健康发展的关键。20...
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