技术编号：4828034
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种超纯水制造系统，特别是涉及一种将超纯水制造器主体所制造的超纯水送至使用点的超纯水制造系统。背景技术 在半导体制造等领域的洗净工程中，使用超纯水作为洗净水。作为超纯水，要求不含有成为洗净故障原因的微粒、有机物和无机物，例如在电阻率18.2MΩ·cm以上、微粒1个/mL以上、活细菌1个/L以下、TOC(Total Organic Carbon，总有机碳)1μg/L以下、氧化硅1μg/L以下、金属类1ng/L以下、离子类10ng/L以下时可达到要求...
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