技术编号:4838125
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用逆渗透(RO)膜分离装置对从电子装置制造工厂 等排出的含有机物(TOC)排水的处理方法及装置。背景技术环境标准或水质标准有越来越严格的趋势,希望也对废水高度净 化。为了解决水不足,为了回收各种排水进行再利用,也希望开发出 高水平的水处理技术。RO膜分离处理可以高效地除去水中的杂质(离子类、有机物、微 粒子等)。如下的净化方法被记载在日本特开2002-336886号公报中, 即回收从半导体制造过程中排出的含有丙酮、异丙醇等含有高浓度 TOC或者...
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