技术编号:4842540
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及含有有机物的水的处理方法及装置,特别涉及通过金属催化剂除去被 处理水中的有机物的方法及装置。现有技术为了进行电子部件的清洗以及表面处理,使用高浓度的药液、洗涤剂,为了冲洗这 些药液、洗涤剂,使用大量纯水。另外,为了使纯水的水质提高、排水的再利用率提高,期望 开发高度的水处理技术。作为在超纯水制造工序中除去被处理水中的TOC (总有机碳)成分的方法,广泛实 施生物处理或物理化学处理。例如,有对含有有机物的排水进行生物处理,除去TOC成分后,将生物处...
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