技术编号:4869011
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对含氢氟酸的氢氟酸废水进行处理的氢氟酸废水处理方法及装置。背景技术 在制造半导体和液晶等的电子部件的过程中所排出的氢氟酸废水由于被稀释难以再利用,因此通常采用这样的方法进行处理,即用消石灰(氢氧化钙)中和氢氟酸形成不溶性的氟化钙后,使其与氢氧化钙一起沉淀,作为污泥从废水中分离的方法。但是在该方法中存在着沉淀和脱水所需的设备空间过大的问题。另外,由于需要提供过量的氢氧化钙,因此产生污泥大量生成,最终即使在脱水后也残留大量废弃物的问题。此外,由于在处...
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