半导体行业工厂节水用水系统的制作方法技术资料下载

技术编号:4883415

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本发明涉及一种节水用水工程,特别是公开一种半导体行业工厂节水用水系统,改变了传统的末端净化处理回用节水技术,是一种有益环境的节约用水系统。本发明涉及纯水处理、研磨废水处理和节水管理数学模型等领域,是当今符合国家重点支持的高新和当前优先发展的高新技术产业化重点领域的关键技术。背景技术当今微电子信息技术水平的高低已被视为一个国家现代化水平的重要标志。单晶硅(Si)材料是半导体工业的基础,在高速发展的微电子信息(IC)产业和太阳能光伏(PV)产业中,据不完全统计...
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