技术编号:4895135
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光致抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、涂布装置和光致抗蚀剂组合物。另外,本申请以日本特许2002-368931、特愿2003-416583为基础,并将其内容引入于本说明书中。背景技术 通常把KrF激元激光、ArF激元激光、F2激元激光、EUV(远紫外光)、EB(电子射线)等用作光源(放射线源)的化学增幅型的光致抗蚀剂组合物,例如在特开2002-296779号公报(专利文献1)中所记载,是包含树脂成分(A)、由曝光产生酸的酸产生剂成分(B)和可以溶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。