技术编号:4901867
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及三氯氢硅合成,更具体地,本实用新型涉及一种用于处理三氯氢硅合成尾气的洗涤精馏塔。背景技术多晶硅是集成电路和光伏发电用关键原材料,是《国家中长期科学和技术发展规划纲要》制造业领域基础原材料优先主题的重要内容。世界多晶硅生产的产业化技术主要有二种工艺,即改良西门子工艺和硅烷法工艺。以产能比较,改良西门子工艺占总产能的82%,硅烷法占18%,先进的多晶硅生产技术一直由美、日、德等国的几家公司所垄断。而三氯氢硅,又名三氯硅烷(SiHCl3)为改良西门...
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