技术编号:4904937
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于安全环保领域,涉及一种尾气处理装置;尤其是涉及一种制备电子工业用氮化物的氨气尾气处理装置。背景技术现代微电子和光电子等工业的发展对氮化物特别是氮化硅(Si3N4)和氮化镓(GaN)提出了更高的质量要求。这些氮化物是制造太阳能电池和发光二极管(LED)的基础材料,为了制造高质量的氮化物,必须要使用高纯度的氨气(高纯氨),这就导致了对高纯氨需求的激增。然而,在合成这些氮化物的过程中,只有非常少量的氨气转化为这些氮化物(数量级上的估计只有百分之一到...
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