技术编号:4907786
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型关于一种真空腔体间内置封合装置,特别涉及一种真空腔体间封合用,以区隔不同程度的真空范围。背景技术当前,真空腔体封合装置都使用外置式封合装置,需要制作一小型真空腔体作为封合装置的主结构,封合装置在此空间内做水平及垂直的移动以封合不同腔体的真空状态,通常设备会配置数十个封合装置,使用此设置不仅增加设备制作成本,也同时会加长设备的总体长度,使其在运用时会因设备总体长度过长而被使用者的厂房面积限制。实用新型内容本实用新型在于提供一种真空腔体间内置封合装置...
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