技术编号:4907893
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及氟光气的生产装置领域,尤其是一种以一氧化碳和氟气为原料生产氟光气的装置。背景技术氟光气又称碳酰氟、羰基氟等,分子式一氧化碳氟气,不燃,剧毒,具强刺激性,在水中分解放出剧毒的腐蚀性气体,可用于半导体制造装置的清洗气和刻蚀气,有机化合物的氟化气和原料以及有机合成的中间体、氟化剂。中蓝晨光院曾开发过氟光气的生产装置,并申请过专利ZL200420105773.8,但使用该专利生产氟光气过程中,该装置生产出的产品杂质含量较高,且装置连续生产时间短,从而...
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