技术编号:4910349
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传感器设备及其制作方法。具体来说,本发明涉及一种基于可大量渗透气体分子但不渗透非气态分子和离子的。背景技术有机硅,即有机硅化合物,是指含有S1-O键、且至少有一个有机基是直接与硅原子相连的化合物,习惯上也常把那些通过氧、硫、氮等使有机基与硅原子相连接的化合物也当作有机硅化合物。其中,以硅氧键(-S1-O-S1-)为骨架组成的聚硅氧烷,是有机硅化合物中为数最多,研究最深、应用最广的一类,约占总用量的90%以上。目前已有许多以有机硅为材料的微加工薄膜...
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