含氟里昂113废气的处理方法装置的制作方法技术资料下载

技术编号:4914175

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本发明涉及从含有氟里昂类中集中而大量使用的氟里昂113的废气中回收并除去氟里昂113、以防止向大气中排放的含氟里昂113废气的处理方法及装置。一般说来,氟里昂类的毒性较低,作为洗净剂、溶剂用于电子工业等各领域。但是,近来认为皮肤癌的增加或环境变异的原因是因为氟里昂气体导致臭氧层破坏而成为问题,以至于由国际会议决定要求削减氟里昂的消费量。作为削减对象的氟里昂是氟里昂11(CCl3F)、12(CCl2F2)、113(C2Cl3F3)、114(C2Cl2F4)、...
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