技术编号:4917934
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体行业光刻工艺基本步骤中的旋转显影过程领域,具体地说是一种旋转显影真空管路中的简易气液分离装置,包括筒体、筒盖及活动塞,筒体的一端与筒盖密封连接,另一端开有排液口,活动塞插设在排液口内,通过活动塞沿筒体轴向往复移动控制排液口的开关;筒盖上分别开有进气口及排气口,筒盖上沿筒体轴向向筒体延伸、形成竖隔板,竖隔板上沿径向设有横隔板,该隔板上开有供气液介质通过的通孔;气液介质通过横隔板折流分离,液体经过通孔,由排液口排出。本发明在筒体内设置了横、竖隔...
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