技术编号:4917968
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及芯片制造用基片加工过程中化学品供应的管路结构,具体地说是一种清除液体中气泡的结构,包括内部带有分隔桶的缓存罐、接负压管、进液管及出液管,其中缓存罐的底部设有出液口、上部设有排气口、罐壁上开有进液口,出液口位于分隔桶内;所述出液口、排气口及进液口分别连通有出液管、接负压管及进液管,各管路上分别安装有与控制装置相连的阀体;所述缓存罐的罐壁上分别设有与控制装置相连的上位传感器及下位传感器。本发明通过不同时间开闭不同阀门及带有分隔桶的缓存罐结构实现了低成...
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