技术编号：4926224
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了，本发明经过合理搭配使用机械加工制备微流控芯片、氯仿蒸汽辅助平整化、水相变牺牲层溶剂辅助键合三种工艺技术并优化特征的使用条件参数，从而达到自由设计制备具有高通道内壁平整度，低形变的适用于芯片光学传感器应用的聚合物微流控芯片。本发明技术工艺简单，对芯片微通道损伤小，无形变，能够满足后续高精度的配件耦合要求，同时由于水在通道表面没有粘附，无需后续清洁处理。专利说明[0001]本发明属于微流控芯片制备领域，具体涉及一种高平整度、低形变聚合物微流控光学...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。