技术编号:4938447
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提供一种气体混合器组件,其包括用于供应第一气体的第一气体源;用于供应不同于所述第一气体的第二气体的第二气体源;用于调整来自第一气体源和第二气体源的第一气体和第二气体的相应的流量的第一流调整装置和第二流调整装置;混合器;以及出口。混合器位于第一流调整装置和第二流调整装置下游,并且布置成在使用中混合第一气体和第二气体,以对出口提供混合气体。气体混合器组件进一步包括量计,量计包括可运行来确定混合气体的平均分子量且包括与混合气体接触的高频率平面压电晶体振荡器的第一...
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