技术编号:4944706
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于气体的分离纯化方法及其装置,更详细地说是关于回收高价的气体进行纯化的方法及装置,尤其,为了回收再利用在半导体制造装置等中作为保护气体使用的高价的氪或氙等稀有气体的最合适的气体分离纯化方法及其装置。这样的处理装置,以下述的方法进行运转,该方法是,在将成为处理对象的基片等送入处理室时,在该处理室内预先形成氮气气氛,在进行等离子处理时刻,仅使稀有气体或者有助于和稀有气体反应的气体流动,通过高频放电产生等离子体,进行处理,接着,使氮气流动,使室内净化,...
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