技术编号:4951166
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种真空排放装置,由控制装置、高压阀、低压阀和真空排放室组成。所述真空排放室两端分别与高压阀和低压阀通过螺纹固定连接。所述控制装置可控制低压阀与高压阀开启或关闭。所述高压阀与低压阀同为球阀,当控制装置控制阀启动时,所述低压阀开启,低压气体从低压阀进口进入,流经低压阀后流入真空排放室内,当低压阀开启一定时间后控制装置控制高压阀开启,高压气体从高压阀进口进入,流经高压阀后流入真空排放室内,此时,控制装置关闭低压阀,一定时间后控制装置关闭高压阀。当两个阀都关闭时...
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