技术编号:4963314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种MOCVD集尘过滤器,包括冷却过滤装置和滤芯过滤装置,所述冷却过滤装置包括设有进气口和连通出气口的冷却筒、均匀排列设于冷却筒内的至少一层水冷粗滤层、环绕所述水冷粗滤层的至少一根冷却水管,所述冷却水管接入外部水管;所述滤芯过滤装置包括设有出气口和连通进气口的过滤筒、均匀排列设于过滤筒内的滤芯;所述冷却过滤装置与滤芯过滤装置通过连通出气口和连通进气口密封连接。本实用新型设有冷却过滤装置和滤芯过滤装置,冷却过滤装置对废气进行粗过滤,气体经过该...
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