技术编号:4968713
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属废气处理,涉及一种用于强温室气体SF6分解的方法,具体涉及 一种将介质阻挡放电技术应用于温室气体SF6分解的废气处理工艺技术。背景技术六氟化硫(SF6)气体因其良好的绝缘和灭弧性能,自1953年被投入工业应用以 来,逐渐被广泛用于工业绝缘设备,如全封闭组合电器GIS、高压断路器、气体绝缘变压器等 电力设备中,据有关统计报道,其消费量占到全年SF6总消费量达的80X。另外,SFe还在半 导体工业中用作刻蚀或辅助刻蚀气体,甚至作为大气污染物长距离扩散的...
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