技术编号：4969983
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种废气处理装置，尤其是一种对沉积的工艺废气进 行净化处理的废气净化器。技术背景在沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，这些有毒气体必须经过严格的 处理达到排放标准后才能排入大气中。这些废气中有的能与水反应，生成Si02和HC1气体等，而HC1等气体和废气中的其他成份可以被水有效吸收， 因此，目前，美国、俄罗斯、日本等国大多采用水吸收型尾气处理系统， 采用水柱淋洗尾气和多孔填料吸收，但是在生产过程中外延炉的尾气排放 量并不是始终一致，大部分的尾气是...
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