技术编号:4972587
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及低温等离子反应器,具体涉及一种水冷射频等离子 体反应器。 背景技术等离子体具有高温、高焓、高活性和温度梯度大的特性,用等离子 体做热源在纳米粉末材料的制备与微米亚微米粉末材料的球化处理等方 面,具有较大的技术优势。射频等离子体技术和设备由于其不带入任何 杂质、运行持续稳定、材料制备产能高和设备造价适中,使之较微波和 直流弧等离子体热源更广泛地应用于粉末材料处理领域,比如熔制石英 棒(法国),粉末材料球化(加拿大),纳米材料制备(日本)等研制的...
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