技术编号:4973274
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种固定阀塔盘,尤其涉及一种用于多晶硅生产的 固舌阀塔盘。 背景技术在多晶硅的生产中,产品纯度要求极高,因此,在生产中不能采用 传质效率高的浮阀塔盘,这是因为浮阀塔盘在阀的浮动过程中,其阀腿 要与阀孔摩擦,摩擦所生产的微量元素会进入产品中,使产品的纯度难 以达标。目前,国内通常采用筛孔塔盘生产多晶硅,虽然筛孔塔盘不会 影响产品的纯度,但筛孔塔盘上的直通孔对塔盘下方上升的气体没有导 向作用,故气体直接穿过塔盘上的液体,使气液接触的时间较短,雾沫...
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