技术编号:4973463
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学反应器,特别提供了一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置。与常规直流电弧、高频等离子体相比,微波等离子体具有反应活性高、能量利用率高、纯净无电极污染且密度高等特点,在进行化学合成、材料表面改性等方面有着独特的优势,适用于作高纯度物质的制备和处理,而且工艺效率更高。微波等离子体按其工作压力可以分为低气压(小于760Torr)和高气压(大于760Torr)两种。低气压微波等离子体在薄膜沉积、等离子刻蚀等领域已得到广泛应用,但负压工作条件却无...
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