技术编号：4973666
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及过滤器的制造。本发明在可重复使用的过滤器元件的制造方面 具有特别的用途，并就该方面的用途进行说明，然而其他用途也应被考虑到。背景技术制造用于各种用途的过滤元件存在很多方法。实例包括蚀刻盘、折叠材料、 网筛、折叠纸等。本发明提供了在现有技术方法上的改进。发明内容本发明的一个方面采用光化学蚀刻技术来制造基本的过滤元件，然后该元 件被用作构造不同用途的各种装置的基础。在该工艺中，将可蚀刻材料的薄板 从该薄板的一侧或双侧蚀刻，以形成预掩膜图案的沟槽，其控...
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