技术编号：4973730
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于进一步纯化包括高纯度的氮气、氩气、氦气、氖气、氪 气、氙气等稀有气体类的惰性气体的吸附剂，利用该吸附剂的气体纯化方法， 气体纯化装置，特別是可以有效地除去这些气体中含有的微量的一氧化碳而 形成超高纯度气体。本申请基于2007年3月5日于日本申请的日本特愿2007-054647号主 张优先权，将其内容合并于此。背景技术作为用于大量生产氧气、氮气、氩气等的方法，广泛使用空气液化分离装置。空气液化分离装置通过将原料空气冷却到极低温使其液化，并将其蒸...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。