技术编号:4975684
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及过滤器领域,特别涉及一种液体过滤器。 背景技术在化学机械抛光过程中,从机台端会有大量使用后的废液排出,在这些废液中存在大量的聚合物颗粒、且随着时间的推移有可能产生更多的结晶物颗粒,如果将废液直接 排放的话,势必会造成排放管道的堵塞,因此在机台端与排放管道之间必须设置过滤器来 过滤废液中含有的聚合物颗粒以及结晶物颗粒,然后再将废液经排放管道传输至后续的附 属设备。图1为现有技术的过滤器的结构示意图。如图1所示,现有技术的过滤器为一 U 形管101,...
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