技术编号:4976996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明总的涉及一种流体贮存和分发装置,它包括一个具有长方 体形状的流体贮存和分发容器,还涉及一种包含这样的流体贮存和分 发装置的集成气箱组件。背景技术在近年来,基于吸附剂的流体贮存和分发装置己经进入到半导体 制造应用中,作为多种半导体制造设备作业的气体供给。这种半导体制造作业包括但不限制于使用如三氣化硼、砷化三 氢、磷化氢和乙硼烷等气体试剂的离子注入;使用多种有机金属的初 级试剂气体的含金属膜的化学蒸镀;以及利用如硅烷和光环硅烷气体 等的硅元素试剂的硅绝缘...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。