技术编号:4977508
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。位于麻萨诸塞州拜德福特的迈克里斯公司(Mykrolis Corporationof Bedford,Massachusetts)所销售的注册商标为IMPACTLVHD的过滤器具有低滞留体积(hold volume),由于该设备所过滤的工艺流体的成本高,这一点对于光致抗蚀剂、电介质、抗反射的和光盘材料非常有利。所述IMPACT LVHD过滤器提供卓越的过滤,以阻止工艺流体内的漂浮物(debris)被沉淀在基片上,阻止形成缺陷。作者为M.Clarke和Kwo...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。