技术编号:4979142
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及真空设备,特别是其配套的导入器。 背景技术超高真空技术是新材料合成,材料的物理化学性质分析和宇宙开 发的基本环境。为了实现在超高真空环境中的各种分析研究,离不开 对样品的传输和操纵。样品在传输和操纵过程中,由于真空设备要求 的密封性高,操纵都需要在大气侧进行,很多情况样品需要按轴线圆 周运动导入,而且在驱动时要保证真空设备与驱动导入器的密封性 能,以保证真空环境,目前的旋转导入装置驱动复杂,精度有待提高, 而且均是刚性部件,密封性能差。 发明...
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