技术编号:4981530
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于净化气体的过滤器,特别是涉及在半导体工业或医疗用等使用的,用于形成净化间或净化台等高度净化空间的把净化间内空气及氛围气中含有的有机类气态污染物质及无机类气态污染物质加以去除的化学过滤器。背景技术 从前,作为用于形成净化间等高度净化空间的过滤器,主要有用于除去气体中微粒的HEPA(高效能微粒除去)过滤器及ULPA(超高效能微粒除去)过滤器。然而,HEPA过滤器及ULPA过滤器不能除去有机类气态污染物质及无机类气态污染物质。在这里,为了除去这些气...
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