技术编号：4981681
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器。 背景技术目前，国内外多晶硅产业迅猛发展，现行的多晶硅工业化生产工艺在多个工段均 要求工艺流体的高精度过滤，如合成反应器出口气体过滤、氢化或者还原炉尾气过滤、硅粉 输送系统气体过滤、氯硅烷液体过滤等。现有的过滤器主要包括旋风除尘器、颗粒层除尘器、袋式除尘器、金属毡过滤器、 三维网状结构的多孔金属。现有的过滤器针对多晶硅生产中的气体净化和液体过滤均表现出一定的不足旋风除尘器——造价低廉，结构简单，但...
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