技术编号:4989868
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种三氯氢硅生产装置,具体是一种三氯氢硅尾气处理的量回收设备系统。背景技术三氯氢硅是合成有机硅的重要中间体,也是制备多晶硅的主要原料。制备氯氢硅比较成熟的工艺是采用金属硅粉和气体氯化氢制备,其主要流程包括化氢合成、三氯氢硅合成、三氯氢硅分离等主要工序。三氯氢硅制备过程中产生的尾气主要成分是氢气、氯化氢和氯硅烷,其处方法是国内业界的热点话题之一,现有技术中一般采用尾气-水喷淋中和处理、活性炭吸附法、气液交换法等。其不足之处是尾气中的氢气不能有效...
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