技术编号：4990320
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及可以从在微流路内流动的由气相流和液相流构成的二相流中将气相流排除而形成液相流的以及气体待测物质测定用微流路芯片及气体待测物质测定方法。背景技术半导体装置为了降低故障率而在尘埃等极少的洁净室内进行制造。洁净室内的空气不仅要求不含尘埃，还要求不含氨。洁净室内的空气中即便是以数PPb的低浓度含有氨时，超微细加工图案形成的精度也会降低、故障率会增大。因此，洁净室内的空气中的氨浓度有必要经常进行监控。目前，洁净室内的空气中的氨浓度如下测定利用泵以规定的流量...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。