技术编号:4991086
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及生产三氯娃烧(trichlorosilane)的系统和方法,具体而言涉及下述合成三氯娃烧的系统和方法利用汽化技术(vaporization techniques)促进副产物固体(如金属盐)的移除,从而减少其在下游单元操作(unit operation)中沉积的可能性。背景技术在美国专利号2,595,620中,Wagner等公开了一种氢化方法,该方法包括用氢原子取代一个或多个与硅键合的氯原子。在美国专利号3,968,199中,Bakay公开了通过三...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。