技术编号:4996634
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种废气排放处理系统,特别涉及一种结合一沸石转轮减废系统与一活性碳减废系统,并可有效降低设置成本、提升减废效率的废气排放处理系统。背景技术 半导体制造工艺日益复杂,且许多制造工艺需要利用化学反应完成,此类化学反应多半会产生许多具毒性的有机废气,对于环境污染影响相当大,再加上相关环保废气排放标准日益严格,故废气排放系统的设计不仅要求减废效率,同时该系统的设置与运转成本,亦成为相关产业于设计减废系统时的一大考虑。请参考图1,图1为公知一废气排放处理系...
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