技术编号:5000897
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可减少硅化类副生成物的空气过滤装置,特别是关于一种具有特殊设计的水幕产生器,以减少半导体厂所排出废气中硅化类悬浮微粒的空气过滤装置。背景技术 清洗塔(Wet Scrubber)主要是通过大量地喷出水雾来过滤气体中的悬浮微粒以及其中的可溶性腐蚀气体,其通常用于气体流量较大的埸合,如工厂的气体排放系统及大楼的中央空调系统。图1为公知传统半导体厂所使用的废气清洗塔的示意图。如第1图所示,废气清洗塔10分别与一进气管1、一排气管2及一进水管(未显示)...
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