技术编号：5006836
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种可用于气体或液体的过滤、分离、纯化或用于催化转换的组件，它包括有在一外壳中的至少一个用于纯化的刚性处理元件，或是具有一个用于过滤、分离或是催化转换的膜片。这种组件可适用于对液体的过滤、分离或纯化，且特别适用于对诸如在半导体制造过程中所使用的气体的过滤或纯化。这种类型的组件包含有-一个通常为圆柱形的金属外套或称外壳，它可只含有一个部件，亦可含有可通过熔融金属固接而组装在一起的若干个部件;-一个或多个刚性处理元件，它可呈如美国专利US-40691...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。