技术编号:5007732
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是关于一种过滤装置,特别涉及一种通入真空泵前的气体过滤装置。背景技术随着纳米科技的发展,许多关于纳米粉体的制备方法不断被开发。如纳米碳管等纳米材料的制备方法,通常使用方法有化学气相沉积、电弧放电、等离子辅助化学气相沉积等。诸多方法中有一个共同特点,即都在高温及一定气体氛围下发生反应,因此所采用装置中均设有一抽真空系统。但是,当气体经过管道时,由于温度下降,使得气体及其所携带物质沉降于管道中,从而减少管道有效直径甚至阻塞管道,也将损失较多产物。这些...
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