技术编号:5014208
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供一种全过滤风机组,特别是指一种粉尘与气态污染的全过滤风机组。附图说明图1显示习用的一个过滤风机组1,用于需超洁净空调的制程如半导体,目前过滤及温控的洁净空气从过滤风机组上方的进风口2流入,经一送风机3、流向控制板4及一超细高效率过滤器5后,可将空气中的粉尘浓度控制在每立方公尺35尘粒(以0.5μm为基准)以下,并以近垂直方向流出,提供制程所需的超洁净空气。新一代的半导体制程除了粉尘浓度外,尚需控制气态污染如氨气及酸性气体至ppb或ppt的超微...
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